Beschreibung:
Aufgaben: Entwicklung, Bewertung und Dokumentation mechatronischer Systemkonzepte für Projektions - und Beleuchtungsoptiken in der Mikrolithografie Modellierung, Simulation und Analyse hochkomplexer mechatronischer Systeme mit Schwerpunkt auf Dynamik und Regelungstechnik eigenständige Entwicklung
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