Beschreibung:
Aufgaben: Entwicklung, Bewertung und Dokumentation mechatronischer Systemkonzepte für Projektions - und Beleuchtungsoptiken in Mikrolithografiesystemen mit Schwerpunkt auf Dynamik und Regelungstechnik Modellierung, Simulation und Analyse mechatronischer Systeme sowie Entwicklung und Bewertung von
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